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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第347位 119件
(2011年:第260位 156件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第926位 32件
(2011年:第403位 82件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2012-132064 | 反応性スパッタリング装置 | 2012年 7月12日 | |
特開 2012-132039 | スパッタリング装置およびスパッタリング方法 | 2012年 7月12日 | |
特開 2012-130873 | 真空容器、及び、真空容器を備える真空処理装置 | 2012年 7月12日 | |
特開 2012-129224 | イオンビームエッチング方法、イオンビームエッチング装置、コンピュータプログラム、記録媒体 | 2012年 7月 5日 | |
特開 2012-127386 | 真空容器 | 2012年 7月 5日 | |
特開 2012-126939 | 成膜装置 | 2012年 7月 5日 | |
特開 2012-124185 | 磁気抵抗素子 | 2012年 6月28日 | |
特開 2012-124362 | 絶縁性基板の静電吸着方法 | 2012年 6月28日 | |
特開 2012-121715 | 搬送機構、及び、これを用いた真空処理装置 | 2012年 6月28日 | |
特開 2012-124406 | 基板の搬送方法 | 2012年 6月28日 | |
特開 2012-119088 | プラズマ処理装置 | 2012年 6月21日 | |
再表 2010-74076 | 基板処理方法、基板処理装置、MOS−FETの製造方法、不揮発メモリの製造方法、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2012年 6月21日 | |
再表 2010-74250 | スパッタ装置及び磁気記憶媒体の製造方法 | 2012年 6月21日 | |
再表 2010-76863 | 基板処理システム及び基板処理装置 | 2012年 6月21日 | |
再表 2010-76862 | 均一膜厚分布のためのスパッタ装置の磁界制御 | 2012年 6月21日 |
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2012-132064 2012-132039 2012-130873 2012-129224 2012-127386 2012-126939 2012-124185 2012-124362 2012-121715 2012-124406 2012-119088 2010-74076 2010-74250 2010-76863 2010-76862
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