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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第347位 119件
(2011年:第260位 156件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第926位 32件
(2011年:第403位 82件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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再表 2010-73711 | スパッタリング装置、スパッタリング方法及び電子デバイスの製造方法 | 2012年 6月14日 | |
再表 2010-73817 | 基板位置決め装置、基板処理装置、基板位置決めプログラム及び電子デバイスの製造方法 | 2012年 6月14日 | |
再表 2010-73904 | 半導体記憶素子の製造方法、及びスパッタ装置 | 2012年 6月14日 | |
特開 2012-109536 | 基板搬送装置、電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法 | 2012年 6月 7日 | |
再表 2010-73669 | 成膜装置およびそれを用いた基板の製造方法 | 2012年 6月 7日 | |
再表 2010-73666 | ガス供給装置、真空処理装置及び電子デバイスの製造方法 | 2012年 6月 7日 | |
再表 2010-73307 | スパッタリング装置および成膜方法 | 2012年 5月31日 | |
特開 2012-102384 | マグネトロンスパッタ装置 | 2012年 5月31日 | |
再表 2010-73330 | スパッタリング装置 | 2012年 5月31日 | |
再表 2010-73323 | スパッタリング装置および成膜方法 | 2012年 5月31日 | |
再表 2010-73322 | 真空処理装置のデータ収集システム | 2012年 5月31日 | |
特開 2012-99672 | 構成情報設定装置、および、構成情報設定プログラム | 2012年 5月24日 | |
特開 2012-99181 | 磁気記録媒体の製造装置 | 2012年 5月24日 | |
特開 2012-99699 | 二重トンネル磁気抵抗効果膜 | 2012年 5月24日 | |
再表 2010-67591 | ラック・アンド・ピニオン機構、真空処理装置、ラック・アンド・ピニオン機構の駆動制御方法、駆動制御プログラム及び記録媒体 | 2012年 5月17日 |
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2010-73711 2010-73817 2010-73904 2012-109536 2010-73669 2010-73666 2010-73307 2012-102384 2010-73330 2010-73323 2010-73322 2012-99672 2012-99181 2012-99699 2010-67591
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