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キヤノンアネルバ株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第260位 156件 上昇2010年:第335位 133件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第403位 82件 下降2010年:第188位 176件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-134375 成膜方法及び基板回転装置並びに真空処理装置 2011年 7月 7日
特開 2011-134992 温度制御装置およびこの温度制御装置を備える真空処理装置 2011年 7月 7日
特開 2011-134993 真空処理装置 2011年 7月 7日
特開 2011-134820 ウェハー搬送ロボット、及び、それを備えた基板処理装置 2011年 7月 7日
特開 2011-134674 イオンビーム発生装置 2011年 7月 7日
特開 2011-127136 スパッタリング装置および、該スパッタリング装置を用いた半導体デバイスの製造方法 2011年 6月30日
特開 2011-127183 ゲートバルブ、それを具備したフィルム製造装置、及び、それを用いたフィルム製造方法 2011年 6月30日
特開 2011-129270 イオンビーム発生器 2011年 6月30日
再表 2009-104789 抵抗変化素子の製造法 2011年 6月23日
特開 2011-122193 ガス導入装置、スパッタリング装置、およびスパッタリング方法 2011年 6月23日
特開 2011-124215 イオンビーム発生装置とそのクリーニング方法 2011年 6月23日
特開 2011-119708 基板保持装置、及び、プラズマ処理装置 2011年 6月16日
特開 2011-117085 ロードロック室及びそれを備えた薄膜形成装置 2011年 6月16日
再表 2009-102056 金属埋め込み方法及び凹部に金属を堆積させるための装置 2011年 6月16日 共同出願
特開 2011-114212 基板処理装置、該基板処理装置を制御する制御装置および基板処理方法 2011年 6月 9日

156 件中 76-90 件を表示

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2011-134375 2011-134992 2011-134993 2011-134820 2011-134674 2011-127136 2011-127183 2011-129270 2009-104789 2011-122193 2011-124215 2011-119708 2011-117085 2009-102056 2011-114212

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