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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第260位 156件 (2010年:第335位 133件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第403位 82件 (2010年:第188位 176件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-134375 | 成膜方法及び基板回転装置並びに真空処理装置 | 2011年 7月 7日 | |
特開 2011-134992 | 温度制御装置およびこの温度制御装置を備える真空処理装置 | 2011年 7月 7日 | |
特開 2011-134993 | 真空処理装置 | 2011年 7月 7日 | |
特開 2011-134820 | ウェハー搬送ロボット、及び、それを備えた基板処理装置 | 2011年 7月 7日 | |
特開 2011-134674 | イオンビーム発生装置 | 2011年 7月 7日 | |
特開 2011-127136 | スパッタリング装置および、該スパッタリング装置を用いた半導体デバイスの製造方法 | 2011年 6月30日 | |
特開 2011-127183 | ゲートバルブ、それを具備したフィルム製造装置、及び、それを用いたフィルム製造方法 | 2011年 6月30日 | |
特開 2011-129270 | イオンビーム発生器 | 2011年 6月30日 | |
再表 2009-104789 | 抵抗変化素子の製造法 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-122193 | ガス導入装置、スパッタリング装置、およびスパッタリング方法 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-124215 | イオンビーム発生装置とそのクリーニング方法 | 2011年 6月23日 | |
特開 2011-119708 | 基板保持装置、及び、プラズマ処理装置 | 2011年 6月16日 | |
特開 2011-117085 | ロードロック室及びそれを備えた薄膜形成装置 | 2011年 6月16日 | |
再表 2009-102056 | 金属埋め込み方法及び凹部に金属を堆積させるための装置 | 2011年 6月16日 | 共同出願 |
特開 2011-114212 | 基板処理装置、該基板処理装置を制御する制御装置および基板処理方法 | 2011年 6月 9日 |
156 件中 76-90 件を表示
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2011-134375 2011-134992 2011-134993 2011-134820 2011-134674 2011-127136 2011-127183 2011-129270 2009-104789 2011-122193 2011-124215 2011-119708 2011-117085 2009-102056 2011-114212
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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