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キヤノンアネルバ株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第260位 156件 上昇2010年:第335位 133件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第403位 82件 下降2010年:第188位 176件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-114212 基板処理装置、該基板処理装置を制御する制御装置および基板処理方法 2011年 6月 9日
特開 2011-108928 基板支持装置及び真空処理装置並びにホルダカバー 2011年 6月 2日
特開 2011-109766 モータ冷却ユニット及びモータ 2011年 6月 2日
再表 2009-96373 真空搬送装置 2011年 5月26日
特開 2011-103331 光電変換装置の製造法及び製造装置 2011年 5月26日
特開 2011-102432 磁性ターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法 2011年 5月26日
特開 2011-102427 磁場発生装置及びスパッタリング装置 2011年 5月26日
特開 2011-98251 真空処理装置 2011年 5月19日
特開 2011-99162 薄膜形成装置、薄膜の製造方法及び電子素子の製造方法 2011年 5月19日
再表 2009-84623 処理装置、並びに電子放出素子及び有機ELディスプレイの生産方法 2011年 5月19日
再表 2009-84445 ドライエッチング方法、磁気抵抗効果素子とその製造方法及び製造装置 2011年 5月19日
特開 2011-96797 真空容器のベーキング方法 2011年 5月12日
特開 2011-94180 磁石ユニットおよびマグネトロンスパッタリング装置 2011年 5月12日
特開 2011-94165 スパッタリング装置及びクリーニング方法 2011年 5月12日
特開 2011-94163 成膜装置及び成膜方法 2011年 5月12日

156 件中 91-105 件を表示

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2011-114212 2011-108928 2011-109766 2009-96373 2011-103331 2011-102432 2011-102427 2011-98251 2011-99162 2009-84623 2009-84445 2011-96797 2011-94180 2011-94165 2011-94163

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