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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第260位 156件
(2010年:第335位 133件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第403位 82件
(2010年:第188位 176件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-114212 | 基板処理装置、該基板処理装置を制御する制御装置および基板処理方法 | 2011年 6月 9日 | |
特開 2011-108928 | 基板支持装置及び真空処理装置並びにホルダカバー | 2011年 6月 2日 | |
特開 2011-109766 | モータ冷却ユニット及びモータ | 2011年 6月 2日 | |
再表 2009-96373 | 真空搬送装置 | 2011年 5月26日 | |
特開 2011-103331 | 光電変換装置の製造法及び製造装置 | 2011年 5月26日 | |
特開 2011-102432 | 磁性ターゲット交換装置及び磁性ターゲット交換方法 | 2011年 5月26日 | |
特開 2011-102427 | 磁場発生装置及びスパッタリング装置 | 2011年 5月26日 | |
特開 2011-98251 | 真空処理装置 | 2011年 5月19日 | |
特開 2011-99162 | 薄膜形成装置、薄膜の製造方法及び電子素子の製造方法 | 2011年 5月19日 | |
再表 2009-84623 | 処理装置、並びに電子放出素子及び有機ELディスプレイの生産方法 | 2011年 5月19日 | |
再表 2009-84445 | ドライエッチング方法、磁気抵抗効果素子とその製造方法及び製造装置 | 2011年 5月19日 | |
特開 2011-96797 | 真空容器のベーキング方法 | 2011年 5月12日 | |
特開 2011-94180 | 磁石ユニットおよびマグネトロンスパッタリング装置 | 2011年 5月12日 | |
特開 2011-94165 | スパッタリング装置及びクリーニング方法 | 2011年 5月12日 | |
特開 2011-94163 | 成膜装置及び成膜方法 | 2011年 5月12日 |
156 件中 91-105 件を表示
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2011-114212 2011-108928 2011-109766 2009-96373 2011-103331 2011-102432 2011-102427 2011-98251 2011-99162 2009-84623 2009-84445 2011-96797 2011-94180 2011-94165 2011-94163
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5月16日(金) - 東京 千代田区
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