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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第260位 156件
(2010年:第335位 133件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第403位 82件
(2010年:第188位 176件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-64513 | 温度測定素子、温度測定装置、基板処理装置及び電子デバイスの製造方法 | 2011年 3月31日 | |
再表 2009-60541 | インライン型ウェハ搬送装置 | 2011年 3月17日 | |
再表 2009-60540 | インライン型ウェハ搬送装置 | 2011年 3月17日 | |
再表 2009-60539 | インライン型ウェハ搬送装置および基板搬送方法 | 2011年 3月17日 | |
特開 2011-47515 | 駆動装置及び真空処理装置 | 2011年 3月10日 | |
特開 2011-47040 | 裏板及びスパッタリング装置 | 2011年 3月10日 | |
特開 2011-46990 | 電圧印加装置及び基板処理装置 | 2011年 3月10日 | |
特開 2011-46971 | マスク位置合わせ機構及びマスク位置合わせ方法並びに真空処理装置 | 2011年 3月10日 | |
再表 2009-57715 | マグネトロンユニット、マグネトロンスパッタリング装置及び電子デバイスの製造方法 | 2011年 3月10日 | |
特開 2011-48961 | 電子放出素子検査装置 | 2011年 3月10日 | |
再表 2009-57223 | 表面処理装置およびその基板処理方法 | 2011年 3月10日 | |
特開 2011-43164 | 真空排気システム | 2011年 3月 3日 | |
再表 2009-54062 | サンドイッチ構造の磁化自由層を有する磁気トンネル接合素子 | 2011年 3月 3日 | |
特開 2011-40496 | 磁性媒体の製造法及びスパッタリング装置 | 2011年 2月24日 | |
特開 2011-32527 | 真空処理装置 | 2011年 2月17日 |
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2011-64513 2009-60541 2009-60540 2009-60539 2011-47515 2011-47040 2011-46990 2011-46971 2009-57715 2011-48961 2009-57223 2011-43164 2009-54062 2011-40496 2011-32527
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