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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1648位 16件
(2012年:第1535位 16件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第810位 38件
(2012年:第1143位 24件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5144863 | 多重露光描画方法及び多重露光描画装置 | 2013年 2月13日 | |
特許 5144992 | 露光装置 | 2013年 2月13日 | |
特許 5135016 | 封止構造を備えた放電ランプ | 2013年 1月30日 | |
特許 5134767 | 描画データ補正機能を有する描画装置 | 2013年 1月30日 | |
特許 5128148 | 搬送装置 | 2013年 1月23日 | |
特許 5117243 | 露光装置 | 2013年 1月16日 | |
特許 5114061 | 投影露光装置 | 2013年 1月 9日 | |
特許 5117052 | 露光装置および露光方法 | 2013年 1月 9日 |
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5144863 5144992 5135016 5134767 5128148 5117243 5114061 5117052
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2月22日(土) - 東京 板橋区
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