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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7264969 | 搬送ハンド及び基板処理装置 | 2023年 4月25日 | |
特許 7264976 | 基板処理装置及び基板支持ユニット | 2023年 4月25日 | |
特許 7263295 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 4月24日 | |
特許 7261280 | 表面処理装置及び表面処理方法 | 2023年 4月19日 | |
特許 7256159 | 支持ユニット、これを含む基板処理装置、及びこれを利用する基板処理方法 | 2023年 4月11日 | |
特許 7254144 | 基板処理装置及び方法 | 2023年 4月 7日 | |
特許 7253029 | 基板処理装置 | 2023年 4月 5日 | |
特許 7250868 | 洗浄ジグ、これを含む基板処理装置、そして基板処理装置の洗浄方法 | 2023年 4月 3日 | |
特許 7246351 | 基板処理設備及び基板処理方法 | 2023年 3月27日 | |
特許 7246431 | 基板処理装置及びそのフェライトコア温度制御方法 | 2023年 3月27日 | |
特許 7246450 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 3月27日 | |
特許 7244568 | 基板処理装置及び液供給方法 | 2023年 3月22日 | |
特許 7237042 | 流体供給ユニット及びこれを有する基板処理装置 | 2023年 3月10日 | |
特許 7236411 | 搬送ユニット及びこれを有する基板処理装置 | 2023年 3月 9日 | |
特許 7236428 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2023年 3月 9日 |
81 件中 61-75 件を表示
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7264969 7264976 7263295 7261280 7256159 7254144 7253029 7250868 7246351 7246431 7246450 7244568 7237042 7236411 7236428
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