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セメス カンパニー,リミテッド

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  2023年 特許取得件数ランキング    第379位 81件 上昇2022年:第4630位 3件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7264969 搬送ハンド及び基板処理装置 2023年 4月25日
特許 7264976 基板処理装置及び基板支持ユニット 2023年 4月25日
特許 7263295 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 4月24日
特許 7261280 表面処理装置及び表面処理方法 2023年 4月19日
特許 7256159 支持ユニット、これを含む基板処理装置、及びこれを利用する基板処理方法 2023年 4月11日
特許 7254144 基板処理装置及び方法 2023年 4月 7日
特許 7253029 基板処理装置 2023年 4月 5日
特許 7250868 洗浄ジグ、これを含む基板処理装置、そして基板処理装置の洗浄方法 2023年 4月 3日
特許 7246351 基板処理設備及び基板処理方法 2023年 3月27日
特許 7246431 基板処理装置及びそのフェライトコア温度制御方法 2023年 3月27日
特許 7246450 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 3月27日
特許 7244568 基板処理装置及び液供給方法 2023年 3月22日
特許 7237042 流体供給ユニット及びこれを有する基板処理装置 2023年 3月10日
特許 7236411 搬送ユニット及びこれを有する基板処理装置 2023年 3月 9日
特許 7236428 基板処理方法及び基板処理装置 2023年 3月 9日

81 件中 61-75 件を表示

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7264969 7264976 7263295 7261280 7256159 7254144 7253029 7250868 7246351 7246431 7246450 7244568 7237042 7236411 7236428

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