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セメス カンパニー,リミテッド

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  2023年 特許取得件数ランキング    第379位 81件 上昇2022年:第4630位 3件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7325564 基板処理装置 2023年 8月14日
特許 7324810 脱気装置、基板処理装置、及び処理液脱気方法 2023年 8月10日
特許 7324339 基板処理方法 2023年 8月 9日
特許 7323593 距離測定システム及び距離測定方法 2023年 8月 8日
特許 7320589 光処理部材、それを含む基板処理装置及び基板処理方法 2023年 8月 3日
特許 7318066 基板処理装置 2023年 7月31日
特許 7312231 シーリング部材及び基板処理装置 2023年 7月20日
特許 7312233 支持ユニット及び基板処理装置 2023年 7月20日
特許 7309977 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 7月18日
特許 7305735 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 7月10日
特許 7304932 ノズル待機ポートとこれを含む基板処理装置及びこれを利用したノズル洗浄方法 2023年 7月 7日
特許 7303784 基板処理方法及び装置 2023年 7月 5日
特許 7303788 基板処理装置及び方法 2023年 7月 5日
特許 7303152 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 7月 4日
特許 7299964 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 6月28日

81 件中 31-45 件を表示

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7325564 7324810 7324339 7323593 7320589 7318066 7312231 7312233 7309977 7305735 7304932 7303784 7303788 7303152 7299964

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