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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第455位 70件 (2022年:第532位 59件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第379位 81件 (2022年:第4630位 3件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7325564 | 基板処理装置 | 2023年 8月14日 | |
特許 7324810 | 脱気装置、基板処理装置、及び処理液脱気方法 | 2023年 8月10日 | |
特許 7324339 | 基板処理方法 | 2023年 8月 9日 | |
特許 7323593 | 距離測定システム及び距離測定方法 | 2023年 8月 8日 | |
特許 7320589 | 光処理部材、それを含む基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 8月 3日 | |
特許 7318066 | 基板処理装置 | 2023年 7月31日 | |
特許 7312231 | シーリング部材及び基板処理装置 | 2023年 7月20日 | |
特許 7312233 | 支持ユニット及び基板処理装置 | 2023年 7月20日 | |
特許 7309977 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 7月18日 | |
特許 7305735 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 7月10日 | |
特許 7304932 | ノズル待機ポートとこれを含む基板処理装置及びこれを利用したノズル洗浄方法 | 2023年 7月 7日 | |
特許 7303784 | 基板処理方法及び装置 | 2023年 7月 5日 | |
特許 7303788 | 基板処理装置及び方法 | 2023年 7月 5日 | |
特許 7303152 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 7月 4日 | |
特許 7299964 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 6月28日 |
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7325564 7324810 7324339 7323593 7320589 7318066 7312231 7312233 7309977 7305735 7304932 7303784 7303788 7303152 7299964
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
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11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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