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セメス カンパニー,リミテッド

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  2023年 出願公開件数ランキング    第455位 70件 上昇2022年:第532位 59件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第379位 81件 上昇2022年:第4630位 3件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7297853 支持ユニット及びこれを含む基板処理装置及び温度制御方法 2023年 6月26日
特許 7290607 液供給ユニット、そしてこれを有する基板処理装置及び方法 2023年 6月13日
特許 7287930 基板処理装置及び方法 2023年 6月 6日
特許 7288017 基板処理装置及び方法 2023年 6月 6日
特許 7285870 部品洗浄方法及び装置 2023年 6月 2日
特許 7282714 基板処理方法及び基板処理装置 2023年 5月29日
特許 7282722 基板処理方法及び基板処理装置 2023年 5月29日
特許 7280856 冷却ユニット及びこれを含む基板処理装置 2023年 5月24日
特許 7280225 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 5月23日
特許 7275068 膜質除去方法、基板処理方法、及び基板処理装置 2023年 5月17日
特許 7275087 基板処理装置及び方法 2023年 5月17日
特許 7274550 基板処理装置 2023年 5月16日
特許 7270713 基板処理装置及びこれに提供されるフィラー部材 2023年 5月10日
特許 7269307 支持ユニット及び基板処理装置 2023年 5月 8日
特許 7264858 基板処理装置及び処理液供給方法 2023年 4月25日

81 件中 46-60 件を表示

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7297853 7290607 7287930 7288017 7285870 7282714 7282722 7280856 7280225 7275068 7275087 7274550 7270713 7269307 7264858

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