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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第108位 369件
(2020年:第107位 385件)
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(2020年:第118位 239件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6968547 | 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム記録媒体 | 2021年11月17日 | |
特許 6963536 | 熱処理装置および熱処理装置の雰囲気置換方法 | 2021年11月10日 | |
特許 6963933 | インクジェット印刷装置、および、インクジェット印刷方法 | 2021年11月10日 | |
特許 6964032 | 試料容器 | 2021年11月10日 | |
特許 6966260 | ポンプ装置、処理液供給装置および基板処理装置 | 2021年11月10日 | |
特許 6966265 | ポンプ装置、処理液供給装置、基板処理装置、液抜き方法および液置換方法 | 2021年11月10日 | |
特許 6959743 | 基板処理装置 | 2021年11月 5日 | |
特許 6959879 | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム | 2021年11月 5日 | |
特許 6959966 | 成膜装置および成膜方法 | 2021年11月 5日 | |
特許 6960344 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2021年11月 5日 | |
特許 6960356 | 教師データ作成支援方法および教師データ作成支援装置 | 2021年11月 5日 | |
特許 6960489 | 基板処理方法 | 2021年11月 5日 | |
特許 6957270 | 成膜装置および成膜方法 | 2021年11月 2日 | |
特許 6958833 | 半導体検査装置及び半導体検査方法 | 2021年11月 2日 | |
特許 6953189 | 基板処理装置 | 2021年10月27日 |
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6968547 6963536 6963933 6964032 6966260 6966265 6959743 6959879 6959966 6960344 6960356 6960489 6957270 6958833 6953189
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