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(2021年:第108位 369件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7007948 | 基板搬送装置および基板搬送方法 | 2022年 1月25日 | |
特許 7008489 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2022年 1月25日 | |
特許 7008576 | 検査装置及びそれを備えた印刷装置並びに読み取り装置 | 2022年 1月25日 | |
特許 7009102 | 熱処理装置の排気方法 | 2022年 1月25日 | |
特許 7009122 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年 1月25日 | |
特許 7004144 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年 1月21日 | |
特許 7004381 | 描画装置、及び描画装置の汚染防止方法 | 2022年 1月21日 | |
特許 7002262 | 露光装置、基板処理装置、露光方法および基板処理方法 | 2022年 1月20日 | |
特許 7002605 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年 1月20日 | |
特許 7002969 | 基板処理装置 | 2022年 1月20日 | |
特許 7000054 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2022年 1月19日 | |
特許 7000177 | 処理液吐出配管および基板処理装置 | 2022年 1月19日 | |
特許 7001423 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2022年 1月19日 | |
特許 7001553 | 処理液温度調整装置、基板処理装置、および処理液供給方法 | 2022年 1月19日 | |
特許 6999449 | 液体供給装置、基板処理装置および液体供給方法 | 2022年 1月18日 |
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7007948 7008489 7008576 7009102 7009122 7004144 7004381 7002262 7002605 7002969 7000054 7000177 7001423 7001553 6999449
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