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キヤノントッキ株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第526位 63件 下降2020年:第454位 74件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第1401位 13件 下降2020年:第1162位 16件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-80558 成膜装置 2021年 5月27日
特開 2021-80559 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2021年 5月27日
特開 2021-80560 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2021年 5月27日
特開 2021-80561 成膜装置 2021年 5月27日
特開 2021-80562 アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、および成膜方法 2021年 5月27日
特開 2021-80563 アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2021年 5月27日
特開 2021-75781 成膜装置及び成膜方法 2021年 5月20日
特開 2021-75782 成膜装置及び成膜装置の制御方法 2021年 5月20日
特開 2021-77782 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、反転方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2021年 5月20日
特開 2021-73373 基板載置方法、電子デバイスの製造方法、基板保持装置、及び電子デバイスの製造方法 2021年 5月13日
特開 2021-73682 成膜装置及びティーチングデータの補正方法 2021年 5月13日
特開 2021-70852 成膜装置、ターゲットユニットの取り外し方法、及びターゲットユニットの取り付け方法 2021年 5月 6日
特開 2021-72319 基板保持ユニット、基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置および電子デバイスの製造方法 2021年 5月 6日
特開 2021-72320 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2021年 5月 6日
特開 2021-72321 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2021年 5月 6日

64 件中 31-45 件を表示

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2021-80558 2021-80559 2021-80560 2021-80561 2021-80562 2021-80563 2021-75781 2021-75782 2021-77782 2021-73373 2021-73682 2021-70852 2021-72319 2021-72320 2021-72321

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