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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第526位 63件 (2020年:第454位 74件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-80558 | 成膜装置 | 2021年 5月27日 | |
特開 2021-80559 | 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月27日 | |
特開 2021-80560 | 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月27日 | |
特開 2021-80561 | 成膜装置 | 2021年 5月27日 | |
特開 2021-80562 | アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、および成膜方法 | 2021年 5月27日 | |
特開 2021-80563 | アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月27日 | |
特開 2021-75781 | 成膜装置及び成膜方法 | 2021年 5月20日 | |
特開 2021-75782 | 成膜装置及び成膜装置の制御方法 | 2021年 5月20日 | |
特開 2021-77782 | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、反転方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月20日 | |
特開 2021-73373 | 基板載置方法、電子デバイスの製造方法、基板保持装置、及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月13日 | |
特開 2021-73682 | 成膜装置及びティーチングデータの補正方法 | 2021年 5月13日 | |
特開 2021-70852 | 成膜装置、ターゲットユニットの取り外し方法、及びターゲットユニットの取り付け方法 | 2021年 5月 6日 | |
特開 2021-72319 | 基板保持ユニット、基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置および電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月 6日 | |
特開 2021-72320 | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月 6日 | |
特開 2021-72321 | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 5月 6日 |
64 件中 31-45 件を表示
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2021-80558 2021-80559 2021-80560 2021-80561 2021-80562 2021-80563 2021-75781 2021-75782 2021-77782 2021-73373 2021-73682 2021-70852 2021-72319 2021-72320 2021-72321
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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