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キヤノントッキ株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第526位 63件 下降2020年:第454位 74件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第1401位 13件 下降2020年:第1162位 16件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-181606 蒸発源装置、蒸着装置、及び蒸発源装置の制御方法 2021年11月25日
特開 2021-178986 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 2021年11月18日
特開 2021-178987 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 2021年11月18日
特開 2021-161487 電子デバイスの製造方法、測定方法、及び、成膜装置 2021年10月11日
特開 2021-161488 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2021年10月11日
特開 2021-161489 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2021年10月11日
特開 2021-161490 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2021年10月11日
特開 2021-143408 マスク取付装置、成膜装置、マスク取付方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法、マスク、基板キャリア、及び基板キャリアとマスクのセット 2021年 9月24日
特開 2021-145091 基板キャリア、成膜装置、及び成膜方法 2021年 9月24日
特開 2021-145096 基板キャリア、成膜装置、基板キャリアの搬送方法、及び成膜方法 2021年 9月24日
特開 2021-141312 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2021年 9月16日
特開 2021-116470 成膜装置及び電子デバイス製造装置 2021年 8月10日
特開 2021-106260 成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2021年 7月26日
特開 2021-102810 回転駆動装置、これを含む成膜装置、電子デバイスの製造方法 2021年 7月15日
特開 2021-102811 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2021年 7月15日

64 件中 1-15 件を表示

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2021-181606 2021-178986 2021-178987 2021-161487 2021-161488 2021-161489 2021-161490 2021-143408 2021-145091 2021-145096 2021-141312 2021-116470 2021-106260 2021-102810 2021-102811

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