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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第489位 63件
(
2020年:第434位 74件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第1401位 13件
(
2020年:第1162位 16件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2021-181606 | 蒸発源装置、蒸着装置、及び蒸発源装置の制御方法 | 2021年11月25日 | |
| 特開 2021-178987 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | 2021年11月18日 | |
| 特開 2021-178986 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 | 2021年11月18日 | |
| 特開 2021-161487 | 電子デバイスの製造方法、測定方法、及び、成膜装置 | 2021年10月11日 | |
| 特開 2021-161488 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2021年10月11日 | |
| 特開 2021-161490 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2021年10月11日 | |
| 特開 2021-161489 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2021年10月11日 | |
| 特開 2021-143408 | マスク取付装置、成膜装置、マスク取付方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法、マスク、基板キャリア、及び基板キャリアとマスクのセット | 2021年 9月24日 | |
| 特開 2021-145091 | 基板キャリア、成膜装置、及び成膜方法 | 2021年 9月24日 | |
| 特開 2021-145096 | 基板キャリア、成膜装置、基板キャリアの搬送方法、及び成膜方法 | 2021年 9月24日 | |
| 特開 2021-141312 | 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 9月16日 | |
| 特開 2021-116470 | 成膜装置及び電子デバイス製造装置 | 2021年 8月10日 | |
| 特開 2021-106260 | 成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2021年 7月26日 | |
| 特開 2021-102810 | 回転駆動装置、これを含む成膜装置、電子デバイスの製造方法 | 2021年 7月15日 | |
| 特開 2021-102811 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 7月15日 |
64 件中 1-15 件を表示
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2021-181606 2021-178987 2021-178986 2021-161487 2021-161488 2021-161490 2021-161489 2021-143408 2021-145091 2021-145096 2021-141312 2021-116470 2021-106260 2021-102810 2021-102811
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