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キヤノントッキ株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第454位 74件 上昇2019年:第581位 56件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1162位 16件 下降2019年:第886位 23件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-193360 蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2020年12月 3日
特開 2020-193367 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2020年12月 3日
特開 2020-193368 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2020年12月 3日
特開 2020-194954 基板搬送システム、基板搬送方法、基板処理システム、及び基板処理方法 2020年12月 3日
特開 2020-183546 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2020年11月12日
特開 2020-183547 マスク、マスクの製造方法および電子デバイスの製造方法 2020年11月12日
特開 2020-169391 アライメントマーク位置検出装置、蒸着装置および電子デバイスの製造方法 2020年10月15日
特開 2020-164920 成膜装置及び成膜方法 2020年10月 8日
特開 2020-153019 蒸着装置及び蒸発源 2020年 9月24日
特開 2020-147830 成膜装置、成膜システム 2020年 9月17日
特開 2020-143328 真空チャンバ内へのユーティリティライン導入機構、成膜装置、成膜システム 2020年 9月10日
特開 2020-139227 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 2020年 9月 3日
特開 2020-141121 アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法、記録媒体、及びプログラム 2020年 9月 3日
特開 2020-122221 基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 2020年 8月13日
特開 2020-122222 成膜装置及びそれを用いた有機EL表示装置の製造方法 2020年 8月13日

74 件中 1-15 件を表示

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2020-193360 2020-193367 2020-193368 2020-194954 2020-183546 2020-183547 2020-169391 2020-164920 2020-153019 2020-147830 2020-143328 2020-139227 2020-141121 2020-122221 2020-122222

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