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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第454位 74件 (2019年:第581位 56件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2020-193360 | 蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2020年12月 3日 | |
特開 2020-193367 | 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2020年12月 3日 | |
特開 2020-193368 | 加熱装置、蒸発源装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2020年12月 3日 | |
特開 2020-194954 | 基板搬送システム、基板搬送方法、基板処理システム、及び基板処理方法 | 2020年12月 3日 | |
特開 2020-183546 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2020年11月12日 | |
特開 2020-183547 | マスク、マスクの製造方法および電子デバイスの製造方法 | 2020年11月12日 | |
特開 2020-169391 | アライメントマーク位置検出装置、蒸着装置および電子デバイスの製造方法 | 2020年10月15日 | |
特開 2020-164920 | 成膜装置及び成膜方法 | 2020年10月 8日 | |
特開 2020-153019 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2020年 9月24日 | |
特開 2020-147830 | 成膜装置、成膜システム | 2020年 9月17日 | |
特開 2020-143328 | 真空チャンバ内へのユーティリティライン導入機構、成膜装置、成膜システム | 2020年 9月10日 | |
特開 2020-139227 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-141121 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法、記録媒体、及びプログラム | 2020年 9月 3日 | |
特開 2020-122221 | 基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 | 2020年 8月13日 | |
特開 2020-122222 | 成膜装置及びそれを用いた有機EL表示装置の製造方法 | 2020年 8月13日 |
74 件中 1-15 件を表示
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2020-193360 2020-193367 2020-193368 2020-194954 2020-183546 2020-183547 2020-169391 2020-164920 2020-153019 2020-147830 2020-143328 2020-139227 2020-141121 2020-122221 2020-122222
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