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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1295位 19件 (2017年:第2676位 8件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2018-204106 | 真空蒸着装置及びそれを用いたデバイス製造方法 | 2018年12月27日 | |
特開 2018-197361 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2018年12月13日 | |
特開 2018-197362 | 基板搬送機構、基板載置機構、成膜装置及びそれらの方法 | 2018年12月13日 | |
特開 2018-197363 | 基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2018年12月13日 | |
特開 2018-198232 | 基板載置装置、基板載置方法、成膜装置、成膜方法、アライメント装置、アライメント方法、および、電子デバイスの製造方法 | 2018年12月13日 | |
特開 2018-119210 | 減圧容器、処理装置、処理システム及びフラットパネルディスプレイの製造方法 | 2018年 8月 2日 | |
再表 2017-222009 | 基板載置方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | 2018年 7月19日 | |
特開 2018-104758 | スパッタ装置及び電極膜の製造方法 | 2018年 7月 5日 | |
特開 2018-105389 | 圧力容器及びシール部材 | 2018年 7月 5日 | |
特開 2018-3094 | 基板挟持装置、成膜装置及び成膜方法 | 2018年 1月11日 | |
特開 2018-3095 | マスク吸着装置 | 2018年 1月11日 | |
特開 2018-3096 | 基板挟持装置、成膜装置及び成膜方法 | 2018年 1月11日 | |
特開 2018-3120 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2018年 1月11日 | |
特開 2018-3121 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2018年 1月11日 | |
特開 2018-3122 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2018年 1月11日 |
20 件中 1-15 件を表示
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2018-204106 2018-197361 2018-197362 2018-197363 2018-198232 2018-119210 2017-222009 2018-104758 2018-105389 2018-3094 2018-3095 2018-3096 2018-3120 2018-3121 2018-3122
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