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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1274位 18件
(
2017年:第2422位 8件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第1089位 18件
(
2017年:第2791位 5件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2018-204106 | 真空蒸着装置及びそれを用いたデバイス製造方法 | 2018年12月27日 | |
| 特開 2018-198232 | 基板載置装置、基板載置方法、成膜装置、成膜方法、アライメント装置、アライメント方法、および、電子デバイスの製造方法 | 2018年12月13日 | |
| 特開 2018-197363 | 基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2018年12月13日 | |
| 特開 2018-197362 | 基板搬送機構、基板載置機構、成膜装置及びそれらの方法 | 2018年12月13日 | |
| 特開 2018-197361 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2018年12月13日 | |
| 特開 2018-119210 | 減圧容器、処理装置、処理システム及びフラットパネルディスプレイの製造方法 | 2018年 8月 2日 | |
| 再表 2017-222009 | 基板載置方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | 2018年 7月19日 | |
| 特開 2018-105389 | 圧力容器及びシール部材 | 2018年 7月 5日 | |
| 特開 2018-104758 | スパッタ装置及び電極膜の製造方法 | 2018年 7月 5日 | |
| 特開 2018-3151 | 基板の挟持方法、基板の挟持装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイスの製造方法、基板載置方法、アライメント方法、基板載置装置 | 2018年 1月11日 | |
| 特開 2018-3094 | 基板挟持装置、成膜装置及び成膜方法 | 2018年 1月11日 | |
| 特開 2018-3144 | マスク支持体、成膜装置及び成膜方法 | 2018年 1月11日 | |
| 特開 2018-3143 | 基板処理装置及びアライメント方法 | 2018年 1月11日 | |
| 特開 2018-3142 | アライメントマークの検出方法、アライメント方法及び蒸着方法 | 2018年 1月11日 | |
| 特開 2018-3141 | 真空成膜装置 | 2018年 1月11日 |
19 件中 1-15 件を表示
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2018-204106 2018-198232 2018-197363 2018-197362 2018-197361 2018-119210 2017-222009 2018-105389 2018-104758 2018-3151 2018-3094 2018-3144 2018-3143 2018-3142 2018-3141
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