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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第412位 81件
(2021年:第526位 63件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第417位 70件
(2021年:第1401位 13件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-191003 | 搬送装置及び成膜装置 | 2022年12月27日 | |
特開 2022-190382 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月26日 | |
特開 2022-188811 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月22日 | |
特開 2022-188812 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月22日 | |
特開 2022-188433 | 成膜装置 | 2022年12月21日 | |
特開 2022-188450 | 成膜装置 | 2022年12月21日 | |
特開 2022-185560 | 搬送装置及び成膜装置 | 2022年12月14日 | |
特開 2022-184582 | 成膜装置及び電子デバイスの製造装置 | 2022年12月13日 | |
特開 2022-182089 | 基板保持具、基板キャリア、成膜システム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-182090 | 基板キャリア、成膜システム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-180205 | 基板保持具、基板保持装置、成膜システム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月 6日 | |
特開 2022-179487 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月 2日 | |
特開 2022-175059 | 姿勢変化装置及び成膜装置 | 2022年11月25日 | |
特開 2022-175839 | 成膜装置、プログラム、位置検知精度の評価方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年11月25日 | |
特開 2022-173248 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年11月18日 |
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2022-191003 2022-190382 2022-188811 2022-188812 2022-188433 2022-188450 2022-185560 2022-184582 2022-182089 2022-182090 2022-180205 2022-179487 2022-175059 2022-175839 2022-173248
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