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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第581位 56件
(2018年:第1295位 19件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第886位 23件
(2018年:第1089位 18件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2019-218623 | 成膜装置、成膜方法および電子デバイスを製造する方法 | 2019年12月26日 | |
特開 2019-216229 | 基板回転装置、基板回転方法及び電子デバイスの製造方法 | 2019年12月19日 | |
特開 2019-216230 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2019年12月19日 | |
特開 2019-210495 | 蒸着方法,電子デバイスの製造方法及び蒸着装置 | 2019年12月12日 | |
特開 2019-206733 | 蒸発源装置、蒸着装置、および蒸着システム | 2019年12月 5日 | |
特開 2019-203175 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2019年11月28日 | |
特開 2019-196517 | 電子部品の製造方法 | 2019年11月14日 | |
特開 2019-189922 | 成膜装置の調整方法、成膜方法、成膜装置、製造システム、有機ELパネルの製造システム及び有機ELパネルの製造方法 | 2019年10月31日 | |
特開 2019-189939 | 処理体収納装置と、処理体収納方法、及びこれを用いた蒸着方法 | 2019年10月31日 | |
特開 2019-189943 | アライメント方法、これを用いた蒸着方法及び電子デバイスの製造方法 | 2019年10月31日 | |
特開 2019-192067 | システム、およびシステム制御方法 | 2019年10月31日 | |
特開 2019-192898 | 基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 | 2019年10月31日 | |
特開 2019-192899 | 真空システム、基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 | 2019年10月31日 | |
特開 2019-183828 | 真空装置、真空システム、デバイス製造装置、デバイス製造システム、及びデバイスの製造方法 | 2019年10月24日 | |
特開 2019-173066 | 基板処理装置及びその制御方法、成膜装置、電子部品の製造方法 | 2019年10月10日 |
56 件中 1-15 件を表示
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2019-218623 2019-216229 2019-216230 2019-210495 2019-206733 2019-203175 2019-196517 2019-189922 2019-189939 2019-189943 2019-192067 2019-192898 2019-192899 2019-183828 2019-173066
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