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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6960789 | アライメント装置、および、成膜装置 | 2021年11月 5日 | |
特許 6956244 | 成膜装置及び成膜方法 | 2021年11月 2日 | |
特許 6954880 | 成膜装置、成膜方法、及び有機EL表示装置の製造方法 | 2021年10月27日 | |
特許 6948126 | スパッタ装置及び電極膜の製造方法 | 2021年10月13日 | |
特許 6936205 | 成膜装置及びこれを用いる有機EL表示装置の製造方法 | 2021年 9月15日 | |
特許 6931851 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6890968 | 圧力容器 | 2021年 6月18日 | |
特許 6876520 | 基板の挟持方法、基板の挟持装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイスの製造方法、基板載置方法、アライメント方法、基板載置装置 | 2021年 5月26日 | |
特許 6876594 | スパッタ装置 | 2021年 5月26日 | |
特許 6852018 | 蒸着方法,電子デバイスの製造方法及び蒸着装置 | 2021年 3月31日 | |
特許 6843533 | 成膜装置及び成膜装置の制御方法 | 2021年 3月17日 | |
特許 6821641 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2021年 1月27日 | |
特許 6811760 | 成膜装置及び成膜方法 | 2021年 1月13日 |
13 件中 1-13 件を表示
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6960789 6956244 6954880 6948126 6936205 6931851 6890968 6876520 6876594 6852018 6843533 6821641 6811760
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