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キヤノントッキ株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第1401位 13件 下降2020年:第1162位 16件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6960789 アライメント装置、および、成膜装置 2021年11月 5日
特許 6956244 成膜装置及び成膜方法 2021年11月 2日
特許 6954880 成膜装置、成膜方法、及び有機EL表示装置の製造方法 2021年10月27日
特許 6948126 スパッタ装置及び電極膜の製造方法 2021年10月13日
特許 6936205 成膜装置及びこれを用いる有機EL表示装置の製造方法 2021年 9月15日
特許 6931851 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2021年 9月 8日
特許 6890968 圧力容器 2021年 6月18日
特許 6876520 基板の挟持方法、基板の挟持装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイスの製造方法、基板載置方法、アライメント方法、基板載置装置 2021年 5月26日
特許 6876594 スパッタ装置 2021年 5月26日
特許 6852018 蒸着方法,電子デバイスの製造方法及び蒸着装置 2021年 3月31日
特許 6843533 成膜装置及び成膜装置の制御方法 2021年 3月17日
特許 6821641 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 2021年 1月27日
特許 6811760 成膜装置及び成膜方法 2021年 1月13日

13 件中 1-13 件を表示

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6960789 6956244 6954880 6948126 6936205 6931851 6890968 6876520 6876594 6852018 6843533 6821641 6811760

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