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キヤノントッキ株式会社
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（
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キヤノントッキ株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7507183 | 蒸発源、成膜装置及び成膜方法 | 2024年 6月27日 | |
| 特許 7499571 | 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2024年 6月14日 | |
| 特許 7498216 | 成膜装置及び成膜方法 | 2024年 6月11日 | |
| 特許 7495387 | スパッタ装置 | 2024年 6月 4日 | |
| 特許 7491870 | 計測装置、およびインライン型蒸着装置 | 2024年 5月28日 | |
| 特許 7489368 | アライメント装置 | 2024年 5月23日 | |
| 特許 7473520 | スパッタ装置 | 2024年 4月23日 | |
| 特許 7472095 | 動作設定装置、動作設定方法及び電子デバイスの製造方法 | 2024年 4月22日 | |
| 特許 7471074 | 成膜方法及び成膜装置 | 2024年 4月19日 | |
| 特許 7465761 | 坩堝，蒸発源及び蒸着装置 | 2024年 4月11日 | |
| 特許 7465859 | 基板キャリア、基板剥離装置、成膜装置、及び基板剥離方法 | 2024年 4月11日 | |
| 特許 7462690 | 成膜装置及び成膜方法 | 2024年 4月 5日 | |
| 特許 7462696 | ワーク保持装置、アライメント装置及び成膜装置 | 2024年 4月 5日 | |
| 特許 7461427 | 成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2024年 4月 3日 | |
| 特許 7450366 | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、反転方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | 2024年 3月15日 |
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7507183 7499571 7498216 7495387 7491870 7489368 7473520 7472095 7471074 7465761 7465859 7462690 7462696 7461427 7450366
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