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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7194006 | 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機ELパネルの製造システム | 2022年12月21日 | |
特許 7193291 | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | 2022年12月20日 | |
特許 7191922 | 搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2022年12月19日 | |
特許 7190997 | 吸着及びアライメント方法、吸着システム、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月16日 | |
特許 7191229 | アライメント機構、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法 | 2022年12月16日 | |
特許 7188973 | 成膜装置、製造システム、有機ELパネルの製造システム、成膜方法、及び有機EL素子の製造方法 | 2022年12月13日 | |
特許 7187415 | 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月12日 | |
特許 7185674 | 成膜装置、調整方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年12月 7日 | |
特許 7177128 | 成膜装置、検知装置、検知方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年11月22日 | |
特許 7177130 | 成膜装置及び足場ユニット | 2022年11月22日 | |
特許 7170524 | 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、有機ELパネルの製造システム | 2022年11月14日 | |
特許 7170016 | 成膜装置 | 2022年11月11日 | |
特許 7170017 | 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年11月11日 | |
特許 7162845 | 静電チャックシステム、成膜装置、吸着及び分離方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年10月31日 | |
特許 7162631 | 基板キャリア、成膜装置、基板キャリアの搬送方法、及び成膜方法 | 2022年10月28日 |
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7194006 7193291 7191922 7190997 7191229 7188973 7187415 7185674 7177128 7177130 7170524 7170016 7170017 7162845 7162631
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