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キヤノントッキ株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7194006 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機ELパネルの製造システム 2022年12月21日
特許 7193291 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 2022年12月20日
特許 7191922 搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 2022年12月19日
特許 7191229 アライメント機構、アライメント方法、成膜装置及び成膜方法 2022年12月16日
特許 7190997 吸着及びアライメント方法、吸着システム、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2022年12月16日
特許 7188973 成膜装置、製造システム、有機ELパネルの製造システム、成膜方法、及び有機EL素子の製造方法 2022年12月13日
特許 7187415 吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年12月12日
特許 7185674 成膜装置、調整方法及び電子デバイスの製造方法 2022年12月 7日
特許 7177130 成膜装置及び足場ユニット 2022年11月22日
特許 7177128 成膜装置、検知装置、検知方法、及び電子デバイスの製造方法 2022年11月22日
特許 7170524 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、有機ELパネルの製造システム 2022年11月14日
特許 7170017 成膜装置、これを用いた成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年11月11日
特許 7170016 成膜装置 2022年11月11日
特許 7162845 静電チャックシステム、成膜装置、吸着及び分離方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2022年10月31日
特許 7162639 蒸発源装置、蒸着装置、及び蒸発源装置の制御方法 2022年10月28日

71 件中 1-15 件を表示

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7194006 7193291 7191922 7191229 7190997 7188973 7187415 7185674 7177130 7177128 7170524 7170017 7170016 7162845 7162639

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