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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第537位 58件
(
2022年:第412位 81件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第321位 99件
(
2022年:第417位 70件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7390822 | ティーチング装置、基板搬送装置、基板処理装置、ティーチング方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年12月 4日 | |
| 特許 7390328 | 制御装置、基板吸着方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年12月 1日 | |
| 特許 7383686 | ロボットシステム、デバイス製造装置、デバイス製造方法 | 2023年11月20日 | |
| 特許 7382809 | 成膜方法及び成膜装置 | 2023年11月17日 | |
| 特許 7379072 | 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法及び電子デバイスの製造装置 | 2023年11月14日 | |
| 特許 7379396 | 成膜装置、搬送方法、成膜方法及び電子デバイス製造方法 | 2023年11月14日 | |
| 特許 7379442 | 反射率測定装置、成膜装置 | 2023年11月14日 | |
| 特許 7374684 | 成膜装置および成膜方法、情報取得装置、アライメント方法、ならびに電子デバイスの製造装置および製造方法 | 2023年11月 7日 | |
| 特許 7372288 | 成膜装置、成膜方法及び蒸発源 | 2023年10月31日 | |
| 特許 7364432 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 | 2023年10月18日 | |
| 特許 7362431 | 成膜装置、ターゲットユニットの取り外し方法、及びターゲットユニットの取り付け方法 | 2023年10月17日 | |
| 特許 7362693 | 成膜装置及び電子デバイスの製造装置 | 2023年10月17日 | |
| 特許 7361671 | 成膜装置、調整装置、調整方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2023年10月16日 | |
| 特許 7360828 | 磁気吸着機構、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置 | 2023年10月13日 | |
| 特許 7360851 | シャッタ装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2023年10月13日 |
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7390822 7390328 7383686 7382809 7379072 7379396 7379442 7374684 7372288 7364432 7362431 7362693 7361671 7360828 7360851
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