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キヤノントッキ株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第537位 58件 下降2022年:第412位 81件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第321位 99件 上昇2022年:第417位 70件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7390822 ティーチング装置、基板搬送装置、基板処理装置、ティーチング方法、及び電子デバイスの製造方法 2023年12月 4日
特許 7390328 制御装置、基板吸着方法及び電子デバイスの製造方法 2023年12月 1日
特許 7383686 ロボットシステム、デバイス製造装置、デバイス製造方法 2023年11月20日
特許 7382809 成膜方法及び成膜装置 2023年11月17日
特許 7379072 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法及び電子デバイスの製造装置 2023年11月14日
特許 7379396 成膜装置、搬送方法、成膜方法及び電子デバイス製造方法 2023年11月14日
特許 7379442 反射率測定装置、成膜装置 2023年11月14日
特許 7374684 成膜装置および成膜方法、情報取得装置、アライメント方法、ならびに電子デバイスの製造装置および製造方法 2023年11月 7日
特許 7372288 成膜装置、成膜方法及び蒸発源 2023年10月31日
特許 7364432 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイス製造方法 2023年10月18日
特許 7362431 成膜装置、ターゲットユニットの取り外し方法、及びターゲットユニットの取り付け方法 2023年10月17日
特許 7362693 成膜装置及び電子デバイスの製造装置 2023年10月17日
特許 7361671 成膜装置、調整装置、調整方法、及び電子デバイスの製造方法 2023年10月16日
特許 7360828 磁気吸着機構、蒸着装置、および電子デバイスの製造装置 2023年10月13日
特許 7360851 シャッタ装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2023年10月13日

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7390822 7390328 7383686 7382809 7379072 7379396 7379442 7374684 7372288 7364432 7362431 7362693 7361671 7360828 7360851

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