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キヤノントッキ株式会社

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  2019年 特許取得件数ランキング    第886位 23件 上昇2018年:第1089位 18件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6611389 アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2019年11月27日
特許 6605657 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 2019年11月13日
特許 6595568 蒸発源装置及び蒸着装置 2019年10月23日
特許 6595658 電子部品の製造方法 2019年10月23日
特許 6583930 スパッタ装置および有機ELパネルの製造方法 2019年10月 2日
特許 6580105 測定装置 2019年 9月25日
特許 6580113 スパッタ装置及びその制御方法 2019年 9月25日
特許 6576009 蒸発源容器及び蒸発源装置 2019年 9月18日
特許 6570012 蒸発源及び蒸着装置 2019年 9月 4日
特許 6567119 基板処理装置及びその制御方法、成膜装置、電子部品の製造方法 2019年 8月28日
特許 6567349 蒸着方法及び蒸着装置 2019年 8月28日
特許 6556802 真空装置、蒸着装置及びゲートバルブ 2019年 8月 7日
特許 6556822 基板処理方法、基板処理装置、及び、成膜装置 2019年 8月 7日
特許 6552590 スパッタ装置及びその使用方法 2019年 7月31日
特許 6537324 蒸着装置並びに蒸着方法 2019年 7月 3日

24 件中 1-15 件を表示

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6611389 6605657 6595568 6595658 6583930 6580105 6580113 6576009 6570012 6567119 6567349 6556802 6556822 6552590 6537324

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