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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第581位 56件
(
2018年:第1295位 19件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第886位 23件
(
2018年:第1089位 18件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6611389 | アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2019年11月27日 | |
| 特許 6605657 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2019年11月13日 | |
| 特許 6595568 | 蒸発源装置及び蒸着装置 | 2019年10月23日 | |
| 特許 6595658 | 電子部品の製造方法 | 2019年10月23日 | |
| 特許 6583930 | スパッタ装置および有機ELパネルの製造方法 | 2019年10月 2日 | |
| 特許 6580105 | 測定装置 | 2019年 9月25日 | |
| 特許 6580113 | スパッタ装置及びその制御方法 | 2019年 9月25日 | |
| 特許 6576009 | 蒸発源容器及び蒸発源装置 | 2019年 9月18日 | |
| 特許 6570012 | 蒸発源及び蒸着装置 | 2019年 9月 4日 | |
| 特許 6567119 | 基板処理装置及びその制御方法、成膜装置、電子部品の製造方法 | 2019年 8月28日 | |
| 特許 6567349 | 蒸着方法及び蒸着装置 | 2019年 8月28日 | |
| 特許 6556802 | 真空装置、蒸着装置及びゲートバルブ | 2019年 8月 7日 | |
| 特許 6556822 | 基板処理方法、基板処理装置、及び、成膜装置 | 2019年 8月 7日 | |
| 特許 6552590 | スパッタ装置及びその使用方法 | 2019年 7月31日 | |
| 特許 6537324 | 蒸着装置並びに蒸着方法 | 2019年 7月 3日 |
24 件中 1-15 件を表示
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6611389 6605657 6595568 6595658 6583930 6580105 6580113 6576009 6570012 6567119 6567349 6556802 6556822 6552590 6537324
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