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キヤノントッキ株式会社

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  2020年 特許取得件数ランキング    第1162位 16件 下降2019年:第886位 23件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6765237 蒸着装置及び蒸発源 2020年10月 7日
特許 6734089 真空用リニアモータの可動子 2020年 8月 5日
特許 6724086 アライメント方法、アライメント装置、これを含む真空蒸着方法及び真空蒸着装置 2020年 7月15日
特許 6703078 成膜装置及びそれを用いた有機EL表示装置の製造方法 2020年 6月 3日
特許 6703079 成膜装置、成膜方法及びそれを用いられる有機EL表示装置の製造方法 2020年 6月 3日
特許 6700361 基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 2020年 5月27日
特許 6686069 蒸発源装置、蒸着装置、および蒸着システム 2020年 4月22日
特許 6686100 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 2020年 4月22日
特許 6679702 真空システム、基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 2020年 4月15日
特許 6673590 スパッタ成膜装置 2020年 3月25日
特許 6673894 基板ホルダ及び成膜装置 2020年 3月25日
特許 6657535 スパッタ成膜装置およびスパッタ成膜方法 2020年 3月 4日
特許 6641226 真空蒸着装置並びに蒸発源の冷却方法 2020年 2月 5日
特許 6641242 蒸着装置及び蒸発源 2020年 2月 5日
特許 6641649 水晶振動子の寿命判定方法、膜厚測定装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイス製造方法 2020年 2月 5日

16 件中 1-15 件を表示

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6765237 6734089 6724086 6703078 6703079 6700361 6686069 6686100 6679702 6673590 6673894 6657535 6641226 6641242 6641649

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