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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6765237 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2020年10月 7日 | |
特許 6734089 | 真空用リニアモータの可動子 | 2020年 8月 5日 | |
特許 6724086 | アライメント方法、アライメント装置、これを含む真空蒸着方法及び真空蒸着装置 | 2020年 7月15日 | |
特許 6703078 | 成膜装置及びそれを用いた有機EL表示装置の製造方法 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6703079 | 成膜装置、成膜方法及びそれを用いられる有機EL表示装置の製造方法 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6700361 | 基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 | 2020年 5月27日 | |
特許 6686069 | 蒸発源装置、蒸着装置、および蒸着システム | 2020年 4月22日 | |
特許 6686100 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2020年 4月22日 | |
特許 6679702 | 真空システム、基板搬送システム、電子デバイスの製造装置及び電子デバイスの製造方法 | 2020年 4月15日 | |
特許 6673590 | スパッタ成膜装置 | 2020年 3月25日 | |
特許 6673894 | 基板ホルダ及び成膜装置 | 2020年 3月25日 | |
特許 6657535 | スパッタ成膜装置およびスパッタ成膜方法 | 2020年 3月 4日 | |
特許 6641226 | 真空蒸着装置並びに蒸発源の冷却方法 | 2020年 2月 5日 | |
特許 6641242 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2020年 2月 5日 | |
特許 6641649 | 水晶振動子の寿命判定方法、膜厚測定装置、成膜方法、成膜装置、及び電子デバイス製造方法 | 2020年 2月 5日 |
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6765237 6734089 6724086 6703078 6703079 6700361 6686069 6686100 6679702 6673590 6673894 6657535 6641226 6641242 6641649
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