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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6436544 | 蒸発源装置およびその制御方法 | 2018年12月12日 | |
特許 6429491 | 蒸着装置用マスク、蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | 2018年11月28日 | |
特許 6401885 | ディスプレイ製造装置及びこれを用いたデバイス製造方法 | 2018年10月10日 | |
特許 6404615 | 有機エレクトロルミネッセンス素子製造用マスク、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | 2018年10月10日 | |
特許 6393802 | 基板載置装置、基板載置方法、成膜装置、成膜方法、アライメント装置、アライメント方法、および、電子デバイスの製造方法 | 2018年 9月19日 | |
特許 6351918 | 基板載置方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | 2018年 7月 4日 | |
特許 6308877 | 成膜装置 | 2018年 4月11日 | |
特許 6309047 | 基板挟持装置、成膜装置及び成膜方法 | 2018年 4月11日 | |
特許 6309048 | マスク吸着装置 | 2018年 4月11日 | |
特許 6302786 | 蒸着装置、蒸着方法、及び有機EL素子の製造方法 | 2018年 3月28日 | |
特許 6298099 | 基板搬送装置 | 2018年 3月20日 | |
特許 6298108 | アライメントマークの検出方法、アライメント方法及び蒸着方法 | 2018年 3月20日 | |
特許 6298109 | 基板処理装置及びアライメント方法 | 2018年 3月20日 | |
特許 6298110 | マスク支持体、成膜装置及び成膜方法 | 2018年 3月20日 | |
特許 6298138 | 成膜システム、磁性体部及び膜の製造方法 | 2018年 3月20日 |
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6436544 6429491 6401885 6404615 6393802 6351918 6308877 6309047 6309048 6302786 6298099 6298108 6298109 6298110 6298138
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