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エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ.

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  2015年 出願公開件数ランキング    第1982位 11件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第23268位 0件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-233137 半導体基板のための反応性硬化プロセス 2015年12月24日
特開 2015-211216 基板処理装置 2015年11月24日
特開 2015-201638 ファンデルワールス力を用いてワークピースを搬送するアンチスリップエンドエフェクタ 2015年11月12日
特開 2015-192148 過酸化水素を半導体処理チャンバへ送る方法及びシステム 2015年11月 2日
特開 2015-179843 複数の反応チャンバを共有するガスシステムで均一な処理を行う方法 2015年10月 8日
特開 2015-161030 ガス供給マニホールド及びガス供給マニホールドを使用してチャンバにガスを供給する方法 2015年 9月 7日
特開 2015-88751 低減されたトリミングレートで炭素含有膜をトリミングする方法 2015年 5月 7日
特開 2015-74831 TDMAT又はTDEATを用いてPEALDによりTi含有膜を形成する方法 2015年 4月20日
特開 2015-73095 ワイヤ−ベース半導体装置を製造する方法 2015年 4月16日
特開 2015-61075 プラズマアシストプロセスにより酸化膜を生成する方法 2015年 3月30日
特開 2015-2349 プラズマアシストプロセスにより処理された基板の面内均一性を制御する方法 2015年 1月 5日

11 件中 1-11 件を表示

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2015-233137 2015-211216 2015-201638 2015-192148 2015-179843 2015-161030 2015-88751 2015-74831 2015-73095 2015-61075 2015-2349

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