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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第2064位 10件
(2017年:第1994位 12件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第1989位 8件
(2017年:第5450位 2件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2018-198318 | 半導体基板のための反応性硬化プロセス | 2018年12月13日 | |
特表 2018-536279 | 光活性デバイス及び材料 | 2018年12月 6日 | |
特開 2018-190986 | トレンチの側壁又は平坦面上に選択的に窒化ケイ素膜を形成する方法 | 2018年11月29日 | |
特開 2018-138691 | 成膜抑制ガス排気のためのシャワープレート構造 | 2018年 9月 6日 | |
特開 2018-137435 | 選択的パッシベーションおよび選択的堆積 | 2018年 8月30日 | |
特開 2018-100446 | 酸化物薄膜の堆積 | 2018年 6月28日 | |
特開 2018-95961 | レニウム含有薄膜の原子層堆積 | 2018年 6月21日 | |
特表 2018-515692 | モリブデン又はタングステン含有薄膜のALD用前駆体の合成及び使用方法 | 2018年 6月14日 | |
特開 2018-90901 | 基板処理装置、基板の処理方法 | 2018年 6月14日 | |
特開 2018-93179 | 基板処理装置 | 2018年 6月14日 |
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2018-198318 2018-536279 2018-190986 2018-138691 2018-137435 2018-100446 2018-95961 2018-515692 2018-90901 2018-93179
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