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エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第1197位 21件 上昇2019年:第2345位 9件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第2418位 6件 下降2019年:第2333位 6件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-204093 基板処理装置、チャンバ内のクリーニング方法 2020年12月24日
特開 2020-191444 装置稼働方法と基板処理装置 2020年11月26日
特開 2020-191450 エッジパージを用いる基材サセプタ 2020年11月26日
特開 2020-191473 SiNの堆積 2020年11月26日
特開 2020-188254 ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 2020年11月19日
特開 2020-188255 ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 2020年11月19日
特開 2020-172704 金属表面上の金属酸化物の選択的堆積 2020年10月22日
特開 2020-167380 基板処理装置 2020年10月 8日
特開 2020-155776 反応器マニホールド 2020年 9月24日
特開 2020-145461 低温でのSiNの蒸着用Si前駆体 2020年 9月10日
特表 2020-520126 誘電体上の酸化物の選択的PEALD 2020年 7月 2日
特表 2020-519007 酸素含有薄膜の制御された形成のためのプラズマ増強堆積プロセス 2020年 6月25日
特開 2020-65087 SiOCN薄膜の形成 2020年 4月23日
特開 2020-61549 基板処理装置 2020年 4月16日
特開 2020-56104 選択的パッシベーションおよび選択的堆積 2020年 4月 9日

21 件中 1-15 件を表示

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2020-204093 2020-191444 2020-191450 2020-191473 2020-188254 2020-188255 2020-172704 2020-167380 2020-155776 2020-145461 2020-520126 2020-519007 2020-65087 2020-61549 2020-56104

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