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エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ.

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  2021年 出願公開件数ランキング    第1259位 20件 下降2020年:第1197位 21件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第1703位 10件 上昇2020年:第2418位 6件)

(ランキング更新日:2024年11月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-191754 モリブデン又はタングステン含有薄膜のALD用前駆体の合成及び使用方法 2021年12月16日
特開 2021-184478 SiOC薄膜の形成 2021年12月 2日
特開 2021-180323 SiNの堆積 2021年11月18日
特開 2021-168410 SiN薄膜の形成 2021年10月21日
特開 2021-118359 側面支持体付きプロセスチャンバー 2021年 8月10日
特開 2021-110041 シャワーヘッドアセンブリおよび構成要素 2021年 8月 2日
特開 2021-100114 コバルトメタライゼーションのためのシステムおよび方法 2021年 7月 1日
特開 2021-90042 基板処理装置、基板処理方法 2021年 6月10日
特開 2021-68902 半導体基材処理用サセプタ 2021年 4月30日
特開 2021-61414 低温でのSiNの蒸着用Si前駆体 2021年 4月15日
特開 2021-52182 半導体加工装置 2021年 4月 1日
特開 2021-42474 化学物質昇華器のための充填容器およびコネクタ 2021年 3月18日
特開 2021-44547 反応物質気化システムのための加熱ゾーン分離 2021年 3月18日
特開 2021-31769 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 2021年 3月 1日
特表 2021-504658 クリーン・ミニエンバイロメントを備える装置 2021年 2月15日

20 件中 1-15 件を表示

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2021-191754 2021-184478 2021-180323 2021-168410 2021-118359 2021-110041 2021-100114 2021-90042 2021-68902 2021-61414 2021-52182 2021-42474 2021-44547 2021-31769 2021-504658

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