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エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ.

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  2019年 出願公開件数ランキング    第2345位 9件 下降2018年:第2064位 10件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第2333位 6件 下降2018年:第1989位 8件)

(ランキング更新日:2021年10月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-218626 基板処理装置、記憶媒体、基板処理方法 2019年12月26日
特開 2019-201406 絶縁システム、基板処理装置 2019年11月21日
特開 2019-194353 シリコンヒドロハライド前駆体を用いたSiNのプラズマエンハンスト原子層堆積(PEALD) 2019年11月 7日
特開 2019-195059 堆積および除去を使用した選択的層形成 2019年11月 7日
特開 2019-186541 基板処理方法 2019年10月24日
特開 2019-145761 基板処理方法及び装置 2019年 8月29日
特表 2019-518134 アニールおよび選択的堆積を組合せたシステム 2019年 6月27日
特開 2019-62225 低温でのSiNの蒸着用Si前駆体 2019年 4月18日
特開 2019-29652 負バイアスを用いてPEALDによって膜を堆積する方法 2019年 2月21日

9 件中 1-9 件を表示

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2019-218626 2019-201406 2019-194353 2019-195059 2019-186541 2019-145761 2019-518134 2019-62225 2019-29652

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