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エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第1197位 21件 上昇2019年:第2345位 9件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第2418位 6件 下降2019年:第2333位 6件)

(ランキング更新日:2021年10月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6782320 基板処理方法 2020年11月11日
特許 6758112 サセプタ、基板処理装置 2020年 9月23日
特許 6752004 SiNの堆積 2020年 9月 9日
特許 6653577 プラスマエンハンスト原子層エッチングの方法 2020年 2月26日
特許 6654547 SiOCN薄膜の形成 2020年 2月26日
特許 6639095 ガス供給マニホールド及びガス供給マニホールドを使用してチャンバにガスを供給する方法 2020年 2月 5日

6 件中 1-6 件を表示

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6782320 6758112 6752004 6653577 6654547 6639095

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