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エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ.

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  2022年 特許取得件数ランキング    第1044位 21件 上昇2021年:第1703位 10件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7183187 誘電体上の酸化物の選択的PEALD 2022年12月 5日
特許 7169072 選択的パッシベーションおよび選択的堆積 2022年11月10日
特許 7162456 負バイアスを用いてPEALDによって膜を堆積する方法 2022年10月28日
特許 7161024 熱原子層エッチングプロセス 2022年10月25日
特許 7158616 SiNの堆積 2022年10月21日
特許 7146690 堆積および除去を使用した選択的層形成 2022年10月 4日
特許 7135187 SiOCN薄膜の形成 2022年 9月12日
特許 7123115 低温でのSiNの蒸着用Si前駆体 2022年 8月22日
特許 7108121 金を含む薄膜の蒸着 2022年 7月27日
特許 7095172 レニウム含有薄膜の原子層堆積 2022年 7月 4日
特許 7092466 有機膜の堆積 2022年 6月28日
特許 7069387 SiN薄膜の形成 2022年 5月17日
特許 7062378 成膜抑制ガス排気のためのシャワープレート構造 2022年 5月 6日
特許 7062658 熱原子層エッチングプロセス 2022年 5月 6日
特許 7062817 SiNの堆積 2022年 5月 6日

21 件中 1-15 件を表示

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7183187 7169072 7162456 7161024 7158616 7146690 7135187 7123115 7108121 7095172 7092466 7069387 7062378 7062658 7062817

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