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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7193804 | 圧電アクチュエータ、圧電式バルブ、及び圧電アクチュエータの製造方法 | 2022年12月21日 | |
特許 7184334 | 弁制御装置、駆動制御装置及び流体制御装置 | 2022年12月 6日 | |
特許 7181546 | 圧電式バルブ | 2022年12月 1日 | |
特許 7173540 | 圧電慣性回転機構およびそれに用いる駆動部 | 2022年11月16日 | |
特許 7148905 | 圧電アクチュエータ | 2022年10月 6日 | |
特許 7093986 | 搬送装置、搬送方法、およびアクチュエータユニット | 2022年 7月 1日 | |
特許 7058046 | ディスペンサ | 2022年 4月21日 | |
特許 7036309 | 可動性評価システム | 2022年 3月15日 | |
特許 7024998 | 搬送装置、搬送方法、およびアクチュエータユニット | 2022年 2月24日 | |
特許 7001296 | 変位拡大機構、アクチュエータ、研磨装置、電子部品処理装置、ディスペンサ、およびエアバルブ | 2022年 1月19日 |
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7193804 7184334 7181546 7173540 7148905 7093986 7058046 7036309 7024998 7001296
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