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シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第957位 28件 下降2019年:第664位 47件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第716位 30件 上昇2019年:第985位 20件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6712648 フリップチップ接合装置及び接合方法 2020年 6月24日
特許 6704462 露光システム、露光装置及び露光方法 2020年 6月 3日
特許 6706343 フォトリソグラフィ装置のナイフエッジ群、大視野フォトリソグラフィ装置、および露光方法 2020年 6月 3日
特許 6700423 ボンディング装置 2020年 5月27日
特許 6700424 二層位置合わせデバイス及び方法 2020年 5月27日
特許 6697126 剥離水平化デバイスおよび剥離方法 2020年 5月20日
特許 6692925 垂直配向レンズアセンブリ及びその取付方法 2020年 5月13日
特許 6681993 移動プラットフォーム装置、露光装置およびフォトリソグラフィ装置 2020年 4月15日
特許 6678251 投影露光装置および方法 2020年 4月 8日
特許 6674986 真空蒸着装置およびその蒸発ヘッド、真空蒸着方法 2020年 4月 1日
特許 6663955 反力外部導出機構、モータ装置、及びフォトリソグラフィ装置 2020年 3月13日
特許 6649505 リソグラフィ・マシンの露光に用いるシャッタ・デバイスおよびその使用方法 2020年 2月19日
特許 6649951 露光装置の調整装置及び調整方法 2020年 2月19日
特許 6646091 自動電源投入装置および方法 2020年 2月14日
特許 6630759 フォトリソグラフィ装置およびフォトリソグラフィ装置における吊り下げフレーム表面型の補償方法 2020年 1月15日

30 件中 16-30 件を表示

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6712648 6704462 6706343 6700423 6700424 6697126 6692925 6681993 6678251 6674986 6663955 6649505 6649951 6646091 6630759

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