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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第12401位 1件
(2017年:第2921位 7件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第2781位 5件
(2017年:第1441位 13件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6430578 | 試料を二つの別個のチャンネルで同時に検査するためのシステム | 2018年11月28日 | |
特許 6377218 | 計測システムおよび計測方法 | 2018年 8月22日 | |
特許 6363557 | 計測システムおよび計測方法 | 2018年 7月25日 | |
特許 6326465 | ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の1つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのための方法 | 2018年 5月16日 | |
特許 6313272 | 重ね合わせマーク、および半導体デバイス | 2018年 4月18日 |
5 件中 1-5 件を表示
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6430578 6377218 6363557 6326465 6313272
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