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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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ケーエルエー−テンカー・コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5805808	プロセス条件測定デバイス	2015年11月10日
特許 5801307	計測システムおよび計測方法	2015年10月28日
特許 5769623	ウェーハを検査しかつ／または分類するコンピュータ内装備方法	2015年 8月26日
特許 5758121	標準参照ダイ比較検査に用いるための標準参照ダイを生成する方法及びウエハーを検査するための方法	2015年 8月 5日
特許 5758406	基板トポグラフィならびにそのリソグラフィ・デフォーカスおよびオーバーレイとの関係についてのサイトに基づく定量化	2015年 8月 5日
特許 5752417	光学結晶の環境制御用エンクロージャ	2015年 7月22日
特許 5748748	極紫外線検査システム	2015年 7月15日
特許 5744120	反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び２つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム	2015年 7月 1日
特許 5719782	ウエハ上の欠陥を検出するためのシステムおよび方法	2015年 5月20日
特許 5719843	設計データおよび欠陥データを使用したスキャナ性能の比較およびマッチング	2015年 5月20日
特許 5719850	フォトレジストシミュレーション	2015年 5月20日
特許 5701095	多反射モードを有する電子反射板	2015年 4月15日
特許 5701602	ウエハーを検査するように構成される装置	2015年 4月15日
特許 5694307	異なるピッチを有する多重アレイ領域を同時に検査する方法および装置	2015年 4月 1日
特許 5694317	荷電粒子エネルギー分析器装置および方法	2015年 4月 1日

17 件中 1-15 件を表示

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5805808 5801307 5769623 5758121 5758406 5752417 5748748 5744120 5719782 5719843 5719850 5701095 5701602 5694307 5694317

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