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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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ケーエルエー−テンカー・コーポレーションの商標一覧
公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4810053 複数ビーム検査装置および方法 2011年11月 9日
特許 4789393 重ね合わせアライメントマークの設計 2011年10月12日
特許 4759228 反射率測定によるエッジビード除去の検査 2011年 8月31日
特許 4666919 改良された位相欠陥感度のためのデフォーカスを利用する差分検出器 2011年 4月 6日
特許 4610151 雑音低減方法、雑音低減装置およびウエ−ハ形状の再構成方法 2011年 1月12日

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4810053 4789393 4759228 4666919 4610151

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