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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 4810053 | 複数ビーム検査装置および方法 | 2011年11月 9日 | |
| 特許 4789393 | 重ね合わせアライメントマークの設計 | 2011年10月12日 | |
| 特許 4759228 | 反射率測定によるエッジビード除去の検査 | 2011年 8月31日 | |
| 特許 4666919 | 改良された位相欠陥感度のためのデフォーカスを利用する差分検出器 | 2011年 4月 6日 | |
| 特許 4610151 | 雑音低減方法、雑音低減装置およびウエ−ハ形状の再構成方法 | 2011年 1月12日 |
5 件中 1-5 件を表示
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4810053 4789393 4759228 4666919 4610151
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