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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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ケーエルエー−テンカー・コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5639042	その場差分光法	2014年12月10日
特許 5639169	暗視野検査システムおよび暗視野検査システムを構成する方法	2014年12月10日
特許 5635987	基板の表面の計測特性を評価するシステムおよび方法	2014年12月 3日
特許 5634864	リソグラフィック・プロセスに於ける、プロセス制御方法およびプロセス制御装置	2014年12月 3日
特許 5634989	対物光学系および試料検査装置	2014年12月 3日
特許 5635011	光散乱計測ターゲット設計の最適化	2014年12月 3日
特許 5624660	検査レシピ作成システムおよびその方法	2014年11月12日
特許 5624326	ウェーハ上に形成されたアレイ領域のための検査領域のエッジを正確に識別する方法、及び、ウェーハ上に形成されたアレイ領域に検知された欠陥をビニングする方法	2014年11月12日
特許 5606313	ウエハの領域全体の半導体パラメータを予測するための装置および方法	2014年10月15日
特許 5602146	レチクル上の欠陥を検出する方法及びシステム	2014年10月 8日
特許 5599387	ウェハー上の欠陥を検出して検査結果を生成するシステム及び方法	2014年10月 1日
特許 5583766	時間的に変化する欠陥分類性能の監視のための方法、システムおよびコンピュータ可読媒体	2014年 9月 3日
特許 5584682	前方フィードと側方フィードの使用および計測セルの再使用によって改善された度量衡計測	2014年 9月 3日
特許 5579452	チャックを使用する基板処理方法および基板処理装置	2014年 8月27日
特許 5567008	検出アルゴリズムの１つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる情報を生成する方法及びシステム	2014年 8月 6日

32 件中 1-15 件を表示

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5639042 5639169 5635987 5634864 5634989 5635011 5624660 5624326 5606313 5602146 5599387 5583766 5584682 5579452 5567008

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