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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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  2014年 出願公開件数ランキング    第2128位 10件 下降2013年:第1902位 13件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第907位 32件 上昇2013年:第2127位 10件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5639042 その場差分光法 2014年12月10日
特許 5639169 暗視野検査システムおよび暗視野検査システムを構成する方法 2014年12月10日
特許 5635987 基板の表面の計測特性を評価するシステムおよび方法 2014年12月 3日
特許 5634864 リソグラフィック・プロセスに於ける、プロセス制御方法およびプロセス制御装置 2014年12月 3日
特許 5634989 対物光学系および試料検査装置 2014年12月 3日
特許 5635011 光散乱計測ターゲット設計の最適化 2014年12月 3日
特許 5624660 検査レシピ作成システムおよびその方法 2014年11月12日
特許 5624326 ウェーハ上に形成されたアレイ領域のための検査領域のエッジを正確に識別する方法、及び、ウェーハ上に形成されたアレイ領域に検知された欠陥をビニングする方法 2014年11月12日
特許 5606313 ウエハの領域全体の半導体パラメータを予測するための装置および方法 2014年10月15日
特許 5602146 レチクル上の欠陥を検出する方法及びシステム 2014年10月 8日
特許 5599387 ウェハー上の欠陥を検出して検査結果を生成するシステム及び方法 2014年10月 1日
特許 5583766 時間的に変化する欠陥分類性能の監視のための方法、システムおよびコンピュータ可読媒体 2014年 9月 3日
特許 5584682 前方フィードと側方フィードの使用および計測セルの再使用によって改善された度量衡計測 2014年 9月 3日
特許 5579452 チャックを使用する基板処理方法および基板処理装置 2014年 8月27日
特許 5567008 検出アルゴリズムの1つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる情報を生成する方法及びシステム 2014年 8月 6日

32 件中 1-15 件を表示

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5639042 5639169 5635987 5634864 5634989 5635011 5624660 5624326 5606313 5602146 5599387 5583766 5584682 5579452 5567008

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