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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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  2013年 出願公開件数ランキング    第1902位 13件 下降2012年:第1162位 23件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第2127位 10件 上昇2012年:第4646位 3件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5341769 選択 欠陥レビューの間にレビューされるべきウェーハ上の位置を決定する方法、設計、欠陥レビュー・ツールおよびシステム 2013年11月13日
特許 5341985 選択 検査システムの偏光設定選択のための、コンピュータを利用した方法、キャリアメディアおよびシステム 2013年11月13日
特許 5331813 選択 反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び2つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム 2013年10月30日
特許 5309304 選択 オーバーレイ・エラーを減少する方法及び製造プロセスのための熱プロファイルを生成する装置 2013年10月 9日
特許 5249485 選択 電子ビームによって誘導されるX線微量分析を使用した薄膜の厚さ測定 2013年 7月31日
特許 5230730 選択 裏面照射型線形センサーを使用する検査システム 2013年 7月10日
特許 5227953 選択 シールドを備えるプロセス条件測定素子 2013年 7月 3日
特許 5225297 選択 ウエハー上に形成されたダイに於けるアレイ領域の認識方法、ならびに係る方法の設定方法 2013年 7月 3日
特許 5199539 選択 焦点ずれ検出のためのマルチスペクトル技術 2013年 5月15日
特許 5180419 選択 重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法 2013年 4月10日

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5341769 5341985 5331813 5309304 5249485 5230730 5227953 5225297 5199539 5180419

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