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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第2921位 7件 (2016年:第3099位 6件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第1441位 13件 (2016年:第1440位 14件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6231156 | ウエハ上の欠陥を検出するためのシステムおよび方法 | 2017年11月15日 | |
特許 6216498 | 標本データ用のロバストなピークファインダー | 2017年10月18日 | |
特許 6211270 | 極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法 | 2017年10月11日 | |
特許 6204336 | ウェーハ用検査工程を生成するための方法及びシステム | 2017年 9月27日 | |
特許 6185693 | ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の1つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法 | 2017年 8月23日 | |
特許 6141353 | ウェーハを検査しかつ/または分類するシステム | 2017年 6月 7日 | |
特許 6140662 | 応力ならびにオーバーレイのフィードフォーワード、及び/または、フィードバック・リソグラフィック・プロセス制御 | 2017年 5月31日 | |
特許 6140663 | 反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び2つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム | 2017年 5月31日 | |
特許 6130340 | 検査システム、モジュラーアレイ、および、方法 | 2017年 5月17日 | |
特許 6117743 | 偏光広帯域ウェーハ検査 | 2017年 4月19日 | |
特許 6097019 | 絶縁層を介して導電経路を形成するための装置及び方法 | 2017年 3月15日 | |
特許 6080877 | スピンウェーハ検査システムおよび高周波高速オートフォーカス機構 | 2017年 2月15日 | |
特許 6072733 | 暗視野検査システムおよび方法 | 2017年 2月 1日 |
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6231156 6216498 6211270 6204336 6185693 6141353 6140662 6140663 6130340 6117743 6097019 6080877 6072733
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11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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