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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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ケーエルエー−テンカー・コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6231156	ウエハ上の欠陥を検出するためのシステムおよび方法	2017年11月15日
特許 6216498	標本データ用のロバストなピークファインダー	2017年10月18日
特許 6211270	極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法	2017年10月11日
特許 6204336	ウェーハ用検査工程を生成するための方法及びシステム	2017年 9月27日
特許 6185693	ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の１つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法	2017年 8月23日
特許 6141353	ウェーハを検査しかつ／または分類するシステム	2017年 6月 7日
特許 6140662	応力ならびにオーバーレイのフィードフォーワード、及び／または、フィードバック・リソグラフィック・プロセス制御	2017年 5月31日
特許 6140663	反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び２つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム	2017年 5月31日
特許 6130340	検査システム、モジュラーアレイ、および、方法	2017年 5月17日
特許 6117743	偏光広帯域ウェーハ検査	2017年 4月19日
特許 6097019	絶縁層を介して導電経路を形成するための装置及び方法	2017年 3月15日
特許 6080877	スピンウェーハ検査システムおよび高周波高速オートフォーカス機構	2017年 2月15日
特許 6072733	暗視野検査システムおよび方法	2017年 2月 1日

13 件中 1-13 件を表示

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6231156 6216498 6211270 6204336 6185693 6141353 6140662 6140663 6130340 6117743 6097019 6080877 6072733

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