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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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  2017年 出願公開件数ランキング    第2921位 7件 上昇2016年:第3099位 6件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1441位 13件 下降2016年:第1440位 14件)

(ランキング更新日:2025年3月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6231156 ウエハ上の欠陥を検出するためのシステムおよび方法 2017年11月15日
特許 6216498 標本データ用のロバストなピークファインダー 2017年10月18日
特許 6211270 極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法 2017年10月11日
特許 6204336 ウェーハ用検査工程を生成するための方法及びシステム 2017年 9月27日
特許 6185693 ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の1つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法 2017年 8月23日
特許 6141353 ウェーハを検査しかつ/または分類するシステム 2017年 6月 7日
特許 6140662 応力ならびにオーバーレイのフィードフォーワード、及び/または、フィードバック・リソグラフィック・プロセス制御 2017年 5月31日
特許 6140663 反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び2つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム 2017年 5月31日
特許 6130340 検査システム、モジュラーアレイ、および、方法 2017年 5月17日
特許 6117743 偏光広帯域ウェーハ検査 2017年 4月19日
特許 6097019 絶縁層を介して導電経路を形成するための装置及び方法 2017年 3月15日
特許 6080877 スピンウェーハ検査システムおよび高周波高速オートフォーカス機構 2017年 2月15日
特許 6072733 暗視野検査システムおよび方法 2017年 2月 1日

13 件中 1-13 件を表示

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6231156 6216498 6211270 6204336 6185693 6141353 6140662 6140663 6130340 6117743 6097019 6080877 6072733

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