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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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ケーエルエー−テンカー・コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6042924	ウエハーを検査するための方法、システム、及び、コンピュータ読み取り可能な媒体	2016年12月14日
特許 6042941	極紫外線検査システム	2016年12月14日
特許 6030616	対物光学系および試料検査装置	2016年11月24日
特許 6014102	ウエハーを検査するように構成される装置	2016年10月25日
特許 6006263	ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の１つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法	2016年10月12日
特許 5980825	ウエハー上で実施される測定中のプロセスに関するダイナミック・サンプリング・スキームを生成または実施するための方法ならびにシステム	2016年 8月31日
特許 5974037	ウエハ用永続的データの作成と、永続的データを検査関連機能に使用するためのシステムと方法	2016年 8月23日
特許 5945294	重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法	2016年 7月 5日
特許 5922044	シールドを備えるプロセス条件測定素子	2016年 5月24日
特許 5905257	計測システムの照明サブシステム、計測システム、および計測測定のために試験片を照明するための方法	2016年 4月20日
特許 5878213	ウエハーを検査するための方法、そのためのコンピュータ読み取り可能な媒体、及び、システム	2016年 3月 8日
特許 5868854	スピンウェーハ検査システム、高周波オートフォーカス機構、および、ビーム成形／指向モジュール	2016年 2月24日
特許 5865585	ウエハーの層の検査に用いる候補として検査装置の一つ以上の光学モードを同定するためにコンピューターにより実施する方法、コンピューター可読の媒体、および装置	2016年 2月17日
特許 5855728	計測ターゲットを設計するための方法、装置および媒体	2016年 2月 9日

14 件中 1-14 件を表示

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6042924 6042941 6030616 6014102 6006263 5980825 5974037 5945294 5922044 5905257 5878213 5868854 5865585 5855728

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