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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第1031位 23件
(2023年:第786位 35件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第909位 25件
(2023年:第1078位 20件)
(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7430748 | エキシマ光源におけるスペックルの低減 | 2024年 2月13日 | |
特許 7430799 | 光源のための制御システム | 2024年 2月13日 | |
特許 7419570 | エタロンでの測定誤差の決定 | 2024年 1月22日 | |
特許 7418577 | DUVレーザアライメントを改善するためのメトロロジ | 2024年 1月19日 | |
特許 7417654 | レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 | 2024年 1月18日 | |
特許 7413535 | エキシマ放電チャンバ窓の塵埃付着を減らすための方向付けられたガスパージ | 2024年 1月15日 | |
特許 7412562 | ガス放電レーザチャンバのためのアンダーカット電極 | 2024年 1月12日 | |
特許 7411082 | 光源装置用のエネルギー補正モジュール | 2024年 1月10日 | |
特許 7411089 | 独立した電圧及びタイミング制御並びに電力消費削減を伴う、デュアルパルスパワーシステム | 2024年 1月10日 | |
特許 7411097 | パルス光ビームの予測制御 | 2024年 1月10日 |
25 件中 16-25 件を表示
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7430748 7430799 7419570 7418577 7417654 7413535 7412562 7411082 7411089 7411097
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