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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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　■　2011年特許取得件数ランキング　　　第98位　350件（2010年：第95位　307件）

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株式会社日立ハイテクノロジーズの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2011-258451	走査電子顕微鏡	2011年12月22日
特開 2011-258614	プラズマ処理装置または試料載置台	2011年12月22日
特開 2011-253729	走査電子顕微鏡装置	2011年12月15日
特開 2011-252841	欠陥検査方法およびその装置	2011年12月15日
特開 2011-252781	パターン計測装置、パターン計測方法、およびプログラム	2011年12月15日
特開 2011-253916	プラズマ処理装置	2011年12月15日
特開 2011-252871	光学式検査装置、及び光学式検査装置のモデル予測によるスポット光の調整方法	2011年12月15日
特開 2011-252804	生体試料の分析方法および分析装置	2011年12月15日
特開 2011-254084	欠陥分類方法及びその装置	2011年12月15日
特開 2011-248217	プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法	2011年12月 8日
特開 2011-249657	試料吸着保持装置および試料吸着判定方法	2011年12月 8日
特開 2011-249597	プラズマ処理装置および処理方法	2011年12月 8日
特開 2011-247924	光源ユニット、光源ユニットの光軸調整方法、プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の露光光照射方法、及び表示用パネル基板の製造方法	2011年12月 8日
特開 2011-248207	プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のアライメント方法、及びパネル基板の製造方法	2011年12月 8日
特開 2011-249664	表示基板モジュール組立装置及び組立方法	2011年12月 8日

689 件中 16-30 件を表示

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2011-258451 2011-258614 2011-253729 2011-252841 2011-252781 2011-253916 2011-252871 2011-252804 2011-254084 2011-248217 2011-249657 2011-249597 2011-247924 2011-248207 2011-249664

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