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東京応化工業株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第194位 216件 上昇2012年:第259位 143件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5205027 化合物の製造方法 2013年 6月 5日
特許 5202832 ウエハ回路面の保護方法及びウエハ薄化方法 2013年 6月 5日
特許 5193513 化合物、酸発生剤、レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2013年 5月 8日
特許 5188759 塗布装置及び塗布方法 2013年 4月24日
特許 5189851 無機被膜形成用組成物 2013年 4月24日
特許 5190000 ポジ型レジスト組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 2013年 4月24日
特許 5189909 リフトオフ用ポジ型レジスト組成物 2013年 4月24日
特許 5186161 塗布装置及び塗布装置のクリーニング方法 2013年 4月17日
特許 5186303 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2013年 4月17日
特許 5186249 新規な化合物およびその製造方法、酸発生剤、レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2013年 4月17日
特許 5184134 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2013年 4月17日
特許 5186224 基板処置装置 2013年 4月17日
特許 5183183 除電装置 2013年 4月17日
特許 5178220 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2013年 4月10日
特許 5173543 ポジ型感光性樹脂組成物 2013年 4月 3日

216 件中 166-180 件を表示

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5205027 5202832 5193513 5188759 5189851 5190000 5189909 5186161 5186303 5186249 5184134 5186224 5183183 5178220 5173543

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