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東京応化工業株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第230位 206件 上昇2012年:第333位 124件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第194位 216件 上昇2012年:第259位 143件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5303231 塗布装置 2013年10月 2日
特許 5303129 塗布装置及び塗布方法 2013年10月 2日
特許 5303125 塗布装置及び塗布方法 2013年10月 2日
特許 5303122 高分子化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2013年10月 2日
特許 5301120 洗浄装置、洗浄方法、予備吐出装置、及び塗布装置 2013年 9月25日
特許 5297775 ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 2013年 9月25日
特許 5301598 液体薬品の分配方法 2013年 9月25日
特許 5301082 化合物、膜形成用組成物および積層体の製造方法 2013年 9月25日
特許 5301070 液浸露光プロセス用レジスト保護膜形成用材料、および該保護膜を用いたレジストパターン形成方法 2013年 9月25日
特許 5297774 ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 2013年 9月25日
特許 5297875 レジスト組成物、レジストパターン形成方法及びレジスト組成物の製造方法 2013年 9月25日
特許 5297671 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2013年 9月25日
特許 5297776 ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 2013年 9月25日
特許 5297658 レジスト液供給回収システム 2013年 9月25日
特許 5292133 ポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 2013年 9月18日

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5303231 5303129 5303125 5303122 5301120 5297775 5301598 5301082 5301070 5297774 5297875 5297671 5297776 5297658 5292133

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