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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第715位 47件 (2012年:第679位 46件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第547位 63件 (2012年:第616位 53件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5241399 | 研磨終了予測・検出方法およびその装置 | 2013年 7月17日 | |
特許 5241321 | ウェーハの研磨状態モニタ方法並びに研磨状態モニタ装置 | 2013年 7月17日 | |
特許 5241904 | フィルム貼付装置およびフィルム貼付方法 | 2013年 7月17日 | |
特許 5235509 | ウェーハ位置決め装置およびウェーハ位置決め装置におけるテーブル | 2013年 7月10日 | |
特許 5234399 | ダイシング方法 | 2013年 7月10日 | |
特許 5224811 | レーザ測長器 | 2013年 7月 3日 | 共同出願 |
特許 5224752 | 研磨完了時点の予測方法とその装置 | 2013年 7月 3日 | |
特許 5224206 | 角度測定方法及び角度測定システム | 2013年 7月 3日 | |
特許 5219600 | 砥石成形状態判定装置及び砥石成形状態判定方法 | 2013年 6月26日 | |
特許 5219395 | ウェハ研磨モニタ方法とその装置 | 2013年 6月26日 | |
特許 5219569 | ウェーハ研削装置における加工良否判定方法およびウェーハ研削装置 | 2013年 6月26日 | |
特許 5212031 | レーザーダイシング方法及びレーザーダイシング装置 | 2013年 6月19日 | |
特許 5206998 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 | 2013年 6月12日 | |
特許 5197037 | バンプが形成されたウェーハを処理するウェーハ処理方法 | 2013年 5月15日 | |
特許 5197145 | プローブ位置修正方法及びプローバ | 2013年 5月15日 |
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5241399 5241321 5241904 5235509 5234399 5224811 5224752 5224206 5219600 5219395 5219569 5212031 5206998 5197037 5197145
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