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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第260位 156件
(2010年:第335位 133件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第403位 82件
(2010年:第188位 176件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2011-181756 | マイクロ波素子 | 2011年 9月15日 | 共同出願 |
特開 2011-179531 | 蓋開閉装置及び真空装置 | 2011年 9月15日 | |
特開 2011-179020 | 基板処理装置及び表示用素子の製造方法 | 2011年 9月15日 | |
特開 2011-174900 | 複合型圧力計、及び複合型圧力計の製造方法 | 2011年 9月 8日 | |
特開 2011-174376 | クライオポンプ/トラップシステム、及び、これを搭載した真空処理装置 | 2011年 9月 8日 | |
特開 2011-168844 | スパッタリング装置 | 2011年 9月 1日 | |
特開 2011-159279 | 真空処理装置及びPLCでのパラメータ処理方法 | 2011年 8月18日 | |
特開 2011-153374 | 金属膜を埋め込む工程を有する電子部品の製造方法 | 2011年 8月11日 | |
特開 2011-153373 | 薄膜形成装置、薄膜形成方法およびシールド部品 | 2011年 8月11日 | |
特開 2011-155106 | 真空処理装置及び基板搬送機構の調整方法 | 2011年 8月11日 | |
特開 2011-149929 | リークチェック方法 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-149094 | 成膜装置及びクリーニング方法 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-149091 | 反応性スパッタリング方法及び反応性スパッタリング装置 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-149100 | 冷却装置 | 2011年 8月 4日 | |
特開 2011-149086 | スパッタリング装置及び電子デバイスの製造方法 | 2011年 8月 4日 |
156 件中 31-45 件を表示
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2011-181756 2011-179531 2011-179020 2011-174900 2011-174376 2011-168844 2011-159279 2011-153374 2011-153373 2011-155106 2011-149929 2011-149094 2011-149091 2011-149100 2011-149086
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