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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第167位 266件 (2010年:第171位 294件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第133位 277件 (2010年:第152位 210件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4704364 | エッチング方法 | 2011年 6月15日 | |
特許 4697791 | 基板搬送装置 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4694363 | 成膜装置 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4691282 | グラファイトナノファイバ粉体の製造装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4691366 | 有機圧電焦電体膜の形成方法 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4691498 | 成膜装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4691377 | 薄膜形成方法 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4690148 | 有機薄膜製造方法および光CVD装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4690031 | スペーサ形成方法及び装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4691347 | イオン注入装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4688117 | 爆発性または発火性ガスに対するシール機構 | 2011年 5月25日 | |
特許 4684268 | 真空処理装置、基板搬送方法 | 2011年 5月18日 | |
特許 4684053 | カーボンナノチューブの作製方法及びその固定方法 | 2011年 5月18日 | |
特許 4681217 | 層間絶縁膜のドライエッチング方法 | 2011年 5月11日 | |
特許 4681215 | 低誘電率層間絶縁膜のドライエッチング方法 | 2011年 5月11日 |
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4704364 4697791 4694363 4691282 4691366 4691498 4691377 4690148 4690031 4691347 4688117 4684268 4684053 4681217 4681215
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11月26日(火) -
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11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
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11月28日(木) - 京都 京都市
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11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
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11月30日(土) -
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12月1日(日) -
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12月4日(水) -
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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