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株式会社アルバック

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  2023年 特許取得件数ランキング    第259位 132件 下降2022年:第238位 135件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7407162 エッチング方法、および、エッチング装置 2023年12月28日
特許 7406054 真空処理装置、静電チャック及び搬送ローラ 2023年12月26日
特許 7404582 真空蒸着装置用の蒸着源 2023年12月25日
特許 7402096 凍結乾燥方法及び凍結乾燥装置 2023年12月20日
特許 7401402 測定装置、膜厚センサ、成膜装置および異常判定方法 2023年12月19日
特許 7396928 真空蒸着装置 2023年12月12日
特許 7395360 基板ホルダ及び成膜装置 2023年12月11日
特許 7394249 モリブデンターゲットおよびその製造方法 2023年12月 7日
特許 7390176 真空乾燥装置、真空乾燥装置における棚の温度調節方法 2023年12月 1日
特許 7389573 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2023年11月30日
特許 7389917 スパッタ装置 2023年11月30日
特許 7388932 金属配線の形成方法 2023年11月29日
特許 7388965 四重極型質量分析装置 2023年11月29日
特許 7384574 カーボン膜の成膜方法 2023年11月21日
特許 7384596 成膜装置 2023年11月21日

137 件中 1-15 件を表示

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7407162 7406054 7404582 7402096 7401402 7396928 7395360 7394249 7390176 7389573 7389917 7388932 7388965 7384574 7384596

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