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株式会社アルバック

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  2016年 特許取得件数ランキング    第236位 145件 下降2015年:第166位 188件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6053110 真空蒸着装置 2016年12月27日
特許 6053117 真空処理装置 2016年12月27日
特許 6053757 多関節ロボット、搬送装置 2016年12月27日
特許 6054062 量子ドット増感型太陽電池の製造方法 2016年12月27日
特許 6055229 被処理体の搬送機構および真空処理装置 2016年12月27日
特許 6046976 露光装置 2016年12月21日
特許 6050104 無機酸化物膜の形成装置、及び、IGZO膜の形成方法 2016年12月21日
特許 6043506 硬質化装置及び金属酸化物膜の硬質化方法 2016年12月14日
特許 6043640 基板吸着検知方法 2016年12月14日
特許 6040075 真空成膜装置及び成膜方法 2016年12月 7日
特許 6034228 有機EL薄膜形成基板の製造方法 2016年11月30日
特許 6034548 有機膜形成装置及び有機膜形成方法 2016年11月30日
特許 6034592 表面電位測定装置 2016年11月30日
特許 6035002 スパッタリング装置及びその状態判別方法 2016年11月30日
特許 6030364 真空処理装置用の断熱材 2016年11月24日

153 件中 1-15 件を表示

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6053110 6053117 6053757 6054062 6055229 6046976 6050104 6043506 6043640 6040075 6034228 6034548 6034592 6035002 6030364

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